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国林科技2月21日在投资者互动平台表示，目前该行业专用臭氧设备主要由日美韩企业垄断，国产化率较低，国产设备进入行业壁垒较高。公司主要竞争优势在于，公司目前已掌握半导体行业用臭氧清洗设备制造及设计工艺多项关键技术。公司半导体清洗专用臭氧设备首台套已于2022年下半年交付给客户，目前正处于产品验证阶段。

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